• Прецизионная микрообработка кремния
• Чувствительность к небольшим расходам от 0,1 SCCM до 20 SLPM
• Возможность использования с более высокими потоками
• Быстрое время отклика
• Аналоговый выход
• Низкое энергопотребление
• Повторяемый отклик
• Взаимозаменяемость с лазерной подгонкой
• Точное и экономичное измерение расхода
• Встроенные клеммы печатной платы
• Стандартные центры крепления 2,54 мм (0,100, кв.) • Точное определение низкого давления от 0,001 до 4,0, quot, H2O (от 0,003 до 10 мбар)
• Формирование усиленного сигнала